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대일시스템

대일시스템

Thermo Fisher Scientific Talos TEM
DVIA-MB3000 Installation Report

Installation Reports

Overview

  • The DVIA-MB3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended

Vibration Isolation System Information

  • Model: DVIA-MB3000
  • Serial Number: 240201R4

Engineer

Byeonghun Cho from DAEIL SYSTEMS

Tuning Date

June 7, 2024

Number of Tuning Trial

1st tuning

Location

Hainan, China

Equipment

  • Manufacturer: Thermo Fisher Scientific
  • Equipment: TEM
  • Model: Talos

Equipment Condition

The equipment is installed / IDLE

Tuning Request

Equipment allowable vibration

Vertical: VC-E / Left to Right: VC-F / Front to Back: VC-F

Data and Image

Vertical Transmissibility

240607-thermo-fisher-scientific-talos-vertical-transmissibility

Left to Right Transmissibility

Front to Back Transmissibility

Equipment picture

Reference

Generic Vibration Criteria

진동 레벨 구분 설명 진동허용
기준
진폭1)
µm/s (µin/s)
정밀도2)
µm
Workshop (ISO) 사람이 분명하게 진동을 체감할 정도, 워크샵 등 민감하지 않은 장소에 적합한 레벨. 800 (32,000) N/A
Office (ISO) 사람이 진동을 체감할 수 있을 정도, 사무실 등 민감하지 않은 장소에 적합한 레벨. 400 (16,000) N/A
Residential Area (ISO) 사람이 진동을 체감하기 어려운 정도, 수면을 위한 공간에 적합한 레벨.
컴퓨터, 병원의 회복실, 반도체 프로브테스트 장비, 40X 이하 배율의 현미경 등에 적합.
200 (8,000) 75
Operating Theatre (ISO) 사람이 진동을 체감할 수 없을 정도, 수술용 장비, 100X 이하 배율의 현미경에 적합. 100 (4,000) 25
VC-A 400X 이하 배율의 광학현미경, 정밀저울, Projection Aligner 등에 적합. 50 (2,000) 8
VC-B 선폭 3 um 이하의 Lithography. Stepper 등의 검사장비에 적합. 25 (1,000) 3
VC-C 1000X 이하 배율의 광학현미경, 정밀도 1 um 이하의 Lithography 및 검사장비
(진동에 덜 민감한 전자현미경), TFT-LCD Stepper/Scanner 등에 적합.
12.5 (500) 1 - 3
VC-D 고사양 전자현미경(SEMs, TEMs), E-Beam 시스템 등에 적합. 6.25 (250) 0.1 - 0.3
VC-E Beam 경로가 긴 레이저 시스템이나, 나노미터 단위의 E-Beam Lithography 등 극도로 민감한 장비에 적합. 3.12 (125) < 0.1
VC-F 초정밀 연구시설에 적합. 대부분의 장소(특히 클린룸)에서 이러한 진동레벨이 달성되기 어려움. 설계 기준보다는 진동 레벨을 평가하기 위한 기준. 1.56 (62.5) N/A
VC-G 초정밀 연구시설에 적합. 대부분의 장소(특히 클린룸)에서 이러한 진동레벨이 달성되기 어려움. 설계 기준보다는 진동 레벨을 평가하기 위한 기준. 0.78 (62.5) N/A
  • 1) VC-A부터 VC-B까지는 8-80Hz,VC-C부터 VC-G까지는 1-80Hz 옥타브 밴드로 측정된 진폭의 값을 나타냄.
  • 2) 정밀도란 마이크로일텍트로닉스분야에서는 선폭을 말하는 것이고, 의학분야에서는 입자크기를 의미함.