도입사례

LG이노텍(구미사업장 4공장 2층 클린룸) 나노시스템 정밀 계측설비(백색광 간섭계) DVIA-ULF1000 데모 테스트 보고서 — 설치 후 IDLE 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하고 VC Curve로 표기. Z축 VC-F, X축 VC-E, Y축 VC-D 수준을 확보하여 우수한 진동 절연 성능을 확인. 축별 Autospectrum·VC Curves와 설치 사진을 게시.

한국기계연구원 L2동 1층 연구실 고진공 챔버용 DVIA-P2200 설치 보고서 — Turn off 상태에서 튜닝 및 진동 측정. 진동 스펙은 정의되지 않았으며, 모든 축에서 바닥/제진대 진동 수준을 VC Curve로 제시합니다.

한국기계연구원 L2동 1층 연구실의 EL 고진공 챔버용 DVIA-P1000 튜닝 및 진동 측정. 에어 배관을 독립식으로 재연결한 후 Turn-off 상태에서 전 축에서 우수한 제진 성능을 확인.

중국 허베이(Hebei)의 Hebei Hengke Vibration Damping Equipment Co., Ltd.(End User) 현장의 ZEISS EVO 10 SEM에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260827R1) 설치 보고서입니다. 2026.09.14 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥과 DVIA-ULF700 두 지점 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 요구 진동 스펙을 충족(PASS)했습니다. 튜닝 요청 작업지시서, UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치 현장 사진 1장을 함께 게시합니다.

ASE 코리아 PB1, 1CMD QO Lab, 전자현미경실에 설치된 TESCAN FIB-SEM SOLARIS X2 GMH 장비에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260622R4) 설치 보고서입니다. 2026.09.11 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 진동을 측정했습니다. 세 축 모두 기준 스펙을 충족해 PASS 판정을 받았으며, 수직축은 VC-B에서 VC-E로, 좌우축은 VC-E에서 VC-G로, 전후축은 VC-B에서 VC-F로 성능이 개선되었습니다.

Pharrics BV(Leuven)의 MPI Corporation MPI TS150 프로브 스테이션에 DVIA-T67(시리얼 260402R1)을 설치하고 작성한 설치 보고서입니다. 정의된 진동 스펙이 없는 상태에서 프로브 스테이션을 시스템에 장착하고 장비를 Idle 상태로 두고 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다. 측정 결과는 축별 Autospectrum과 VC Curves 플롯으로 제시되며, IEST-RP-CC012.2 진동 기준 분류표를 함께 게시합니다.