DVIM-F Series
에어스프링 공압식 아이솔레이터
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- Features
- Performance
- Specifications
- Options
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DVIM-F 아이솔레이터는 에어스프링을 사용하여 수직 및 수평 방향에서 기본적인 제진성능을 보여주며
합리적인 가격으로 진동 제어시스템을 구성할 수 있습니다.
내구성이 뛰어난 공압식 제진 마운트
에어 스프링을 탑재하는 DVIM-F 아이솔레이터는 수직, 수평 축 기본적인 진동 제진성능 보여주며, 저렴한 가격으로 이용 가능합니다. 또한 DVIM-F 아이솔레이터는 에어스프링을 사용하여 진동을 제어하는데, 매우 뛰어난 내구성을 지닌 에어스프링은 DVIM-F 아이솔레이터의 수명을 연장시켜 장기간 사용 중에도 교체의 우려가 없습니다. DVIM-F 아이솔레이터는 진동 제어나 감쇠 및 안정화 시간이 비교적 덜 요구되는 장비에 적합합니다.
고정밀 레밸링 밸브
높은 반복정밀도(leveling repeatability)가 요구되는 경우, 정밀형(±0.05mm) 레밸링 밸브를
아이솔레이터에 장착하여 장비의 안정화 시간(settling time)을 단축시킬 수 있습니다.
10 Hz 에서 40 – 50% 제진성능 (댐퍼 사용안할시)
| Vibration Isolation System | Pneumatic Isolation System | ||||||||||||
| Load Capacity | 100–60000 kg | ||||||||||||
| Resonant Frequency | 5.0–6.0 Hz | ||||||||||||
| Vibration Isolation at 10 Hz | 40-50% (Without Oil Damper) | ||||||||||||
| Automatic Leveling | Yes | ||||||||||||
| Accuracy of Leveling Repeatability | ±1.0 mm for Standard Leveling Valve ±0.05 mm for Precision Leveling Valve |
||||||||||||
빠른 정착시간 - 오일 댐퍼 옵션
DVIM-F 아이솔레이터에 내장형 오일 댐퍼 (Built-in Oil Damper)를 장착하면, XY 스테이지의 움직임이 감소 및 둔화 되어 탑재장비의
정착시간(settling time)이 줄어들고, 제진대의 강성이 높아집니다.
| Model | Dimensions (Floating) L x W x H (mm) |
Dimensions (Deflated) L x W x H (mm) |
Location of Bolt Hole P x P (mm) |
Weight Per Isolator (kg) |
Maximum Load Capacity Per Isolator (kg) |
Diameter of Bolt Hole (⌀) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DVIM-F-500 | 220 x 220 x 152 | 180 x 180 x 142 | 160 x 160 | 11 | 500 | 10 |
| DVIM-F-1000 | 240 x 240 x 152 | 200 x 200 x 142 | 180 x 180 | 16 | 1000 | 10 |
| DVIM-F-1500 | 300 x 300 x 152 | 240 x 240 x 142 | 210 x 210 | 20 | 1500 | 10 |
| DVIM-F-2000 | 320 x 320 x 152 | 270 x 270 x 142 | 240 x 240 | 35 | 2000 | 14 |
| DVIM-F-2500 | 360 x 360 x 172 | 290 x 290 x 162 | 260 x 260 | 43 | 2500 | 14 |
| DVIM-F-3000 | 380 x 380 x 172 | 320 x 320 x 162 | 290 x 290 | 50 | 3000 | 14 |
| Model | Dimensions (Floating) L x W x H (mm) |
Dimensions (Deflated) L x W x H (mm) |
Location of Bolt Hole P x P (mm) |
Weight Per Isolator (kg) |
Maximum Load Capacity Per Isolator (kg) |
Diameter of Bolt Hole (⌀) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DVIM-F-500D | 220 x 220 x 152 | 180 x 180 x 142 | 160 x 160 | 11 | 500 | 10 |
| DVIM-F-1000D | 240 x 240 x 152 | 200 x 200 x 142 | 180 x 180 | 16 | 1000 | 10 |
| DVIM-F-1500D | 300 x 300 x 152 | 240 x 240 x 142 | 210 x 210 | 20 | 1500 | 10 |
| DVIM-F-2000D | 320 x 320 x 152 | 270 x 270 x 142 | 240 x 240 | 35 | 2000 | 14 |
| DVIM-F-2500D | 360 x 360 x 172 | 290 x 290 x 162 | 260 x 260 | 43 | 2500 | 14 |
| DVIM-F-3000D | 380 x 380 x 172 | 320 x 320 x 162 | 290 x 290 | 50 | 3000 | 14 |
