DVIA-ML Series
업계 최고 성능의 혁신적인 액티브 제진 시스템
- Overview
- Features
- Performance
- Specifications
DVIA-ML1000 시리즈는 DVIA-MB 시리즈의 업그레이드 버전으로,
뛰어난 능동 제어 알고리즘을 적용하여 저주파 대역에서 최고의 제진 성능을 제공합니다.
플랫폼의 높이는 단 182 mm로 설계되어 높이가 높은 전자 현미경에 더 많은 공간을 제공합니다.
정교한 피드백과 피드포워드 제어 알고리즘 및 최적의 성능을 발휘 할 수 있도록 설계된
DVIA-ML1000 시리즈는 어떤 액티브 제진시스템도 뛰어넘는 제진 성능을 발휘합니다.
최고의 제진 성능,
1 Hz에서 80 - 90%이상의 제진성능
DVIA-ML에 정교한 제어 알고리즘이 임베드되어 0.5 Hz부터 진동을 제어하며
1 Hz에서 80 - 90%의 진동을 감쇠합니다.
낮은 프로파일 디자인으로 안정성의 향상, 더 많은 공간을 제공
고객의 요구사항에 맞는 커스텀 디자인 제공
DVIA-ML1000 플랫폼의 높이는 단 182 mm로, 높이가 높은 전자 현미경에 더 많은 공간을
제공하며 무게 중심이 낮아짐으로 제진 시스템의 안정성을 더욱 향상시킵니다.
더 나은 제진성능을 위한 최적의 시스템 디자인
Electromagnetic Actuators
DVIA-ML 플랫폼의 네 모서리에 설치된 actuators는 지반진동의
반대의 힘을 생성하여 효과적으로 진동을 제어 합니다.
11개의 Geophone Sensor
11개의 고성능 geophone sensor가 제진대 상단과 하단에 설치되어 있어 뛰어난 저주파 반응성을 보여주며 0.3 Hz의 저주파 진동도 감지할 수 있습니다.
공압식 스프링
DVIA-ML 공압식 스프링은 적재물의 질량에 따라 높은 조절성을 가지며,
10 Hz 이하에서 액티브 제진성능을 향샹시키는 낮은 고유 진동수 3 Hz을 제공합니다.
새로운 피드백 제어를 통해
오픈 루프(open loop)튜닝의 최적화
피드백 제어 시스템은 액티브 제진대 상부의 진동을 지속적으로 geophone sensor로 측정하고, 측정된 진동을 감쇠시키기 위해 actuators에서 측정된 진동과 동일한 힘을 반대방향으로 생성하여 제어합니다. 제진대위에 설치된 장비에서 발생하는 구조적 공진(structural resonance)과 진동을 피드백 오픈 루프에서 정교하게 PID게인(gain)값을 조정하고 새롭게 개발된 노치 필터(notch filter)를 사용하여 효율적으로 제어합니다.
저주파 제진 성능을 극적으로 향상시키는
정교한 피드포워드 제어 알고리즘
피드포워드 제어는 실시간으로 제진대 하부에 설치되어 있는 geophone sensor들이 측정한 지반진동값을 액추에이터에 신호를 보내 지반진동이 제진대 상부에 전달되기 전에 제어합니다. DVIA-ML의 피드포워드 제어는 저주파 제진성능을 극적으로 향상시키며 피드포워드 제어는 설치장소의 지반진동값이 변해도 그에 맞게 geophone sensor들이 실시간으로 측정하고 제어하여 재튜닝이 필요하지 않습니다.
안정성과 제진성능을 위한
새로운 PID 튜닝 소프트웨어,
그리고 더 많은 PID 게인과 필터
DVIA-ML에 적용된 새로운 튜닝 소프트웨어는 더 많은 필터와 다양한 게인을 제공하여 더욱더 진동을 효율적으로 제어할 수 있습니다.
필터 슬롯의 수가 3개에서 5개로 증가하여 피드백과 피드포워드 제어를 섬세하고 정확하게 튜닝할 수 있습니다.
새로운 피드포워드 D 게인과 D 주파수는 10 Hz 이하의 액티브 제진성능을 더 향상시킬수 있도록 안정성을 제공합니다. 특히,
새로운 피드포워드 D 게인 제어를 사용하여 0.5 Hz 이하의 진동을 감쇠시킴으로써 월등한 저주파 제진성능을 달성할 수 있습니다.
새로운 튜닝 소프트웨어는 0.1 Hz부터 오픈-루프 전달 함수 그래프를 모니터링 할 수 있게 하여 위상 여유를 정확하게
확인할 수 있게 해주므로, 안전하게 게인 값을 조정하여 뛰어난 저주파 제진성능을 발휘합니다.
6 자유도 액티브 진동 감쇠
DVIA-ML은 세 가지 직선 운동의 자유도(X, Y and Z)와 세 가지 회전 운동의 자유도(피치, 롤, 요)에서 진동을 제어합니다.
1Hz에서 80%-90% 제진 성능
| Model | DVIA-ML1000 |
|---|---|
| Dimensions | Custom design |
| Maximum Load Capacity | 1700 kg |
| Vibration Isolation Technology | Feedback and Feedfoward Control |
| Degrees of freedom | 6 Degrees |
| Active Isolation Bandwidth | 0.5 - 200 Hz |
| Vibration Isolation | 80 - 90% at 1Hz |
| Actuator | Electromagnetic Actuator |
| Maximum Actuator Force | Vertical 40 N, Horizontal 20 N |
| Vibration Sensor | Geophone, Sensitivity: 2.55 N/in/s (100.4 V/m/s) ± 10% |
| Leveling | Repeatability: ± 0.1mm |
| Controller | Built-in |
| Environmental Protection Requirements | CE and TUV |
| Power Requirements | Line Voltage: 100 - 260V AC, LIne Frequency: 50 - 60 Hz |
| Air Requirements | Air Pressure: 4 - 6 bar, Air Delivery: 30 L/min |
| Environmental Requirements | Temperature: 5 - 50 ℃, Humidity: 20 - 90 % |