완전히 새로운 액티브 제진 시스템이 드디어 출시되었습니다.
대일시스템은 전자현미경(SEM)에 특화된 세계 최고 수준의 액티브 제진 시스템,
DVIA-MLP1000을 선보입니다. DVIA-MLP1000은 고성능 전자현미경이 외란 없이 완벽한 이미징을
가능하도록 최적화된 진동 제어 환경을 제공함으로써 액티브 제진 시스템의 새로운 기준을 제시합니다.
SEM 본체의 베이스 프레임에 견고하게 체결할 수 있도록 맞춤 설계된 4개의 액티브 아이솔레이터가 적용됩니다. 각 아이솔레이터 상단 플레이트에는 두 개의 관통 구멍이 있어, SEM 베이스 프레임에 있는 캐스터 구멍과 정확히 일치하도록 디자인되었습니다.
874 × 846 × 158 mm 규격의 DVIA-MLP1000은 Thermo Fisher SEM에 딱 맞도록 설계되었습니다. 낮은 프로파일 디자인으로 현미경을 시스템 위에 직접 올릴 수 있어 전체 높이를 최소화합니다. 이에 따라 공간이 협소한 환경이나 인클로저 내부에서도 별도의 개조 없이 쉽게 설치할 수 있으며, 사용자에게 편리한 인체공학적 사용 환경도 유지합니다.
DVIA-MLP1000 플랫폼은 네 면에 캐스터를 부착할 수 있어 이동성과 조작 편의성을 크게 높였습니다. 이 설계를 통해 다양한 방향으로 간편하게 움직일 수 있으므로 운반 및 설치 위치 조정이 더욱 수월해집니다. 또한 네 면 모두에 캐스터를 장착할 수 있어, 표면 위에서 부드럽게 굴리며 이동시키기 쉽습니다.
DVIA-MLP1000은 5Hz 이하의 낮은 공진 주파수를 갖는 에어 스프링을 사용해 저주파 대역에서의 제진 성능을 강화했습니다. 대부분의 제진 시스템은 공진 주파수가 높은 패시브 아이솔레이터와 피드백 알고리즘만을 사용하기에 5Hz 이하 영역의 진동을 제어하는데 어려움을 겪습니다. 하지만 DVIA-MLP1000은 저공진 주파수 아이솔레이터에 피드백 및 피드포워드 알고리즘을 접목하여 월등한 격리 성능을 구현합니다. 그 결과, 엄격한 진동 요건이 필요한 SEM 및 듀얼빔 장비에도 최적의 솔루션을 제공합니다.
DVIA-MLP1000 시스템은 0.3Hz부터 우수한 저주파 응답 특성을 지닌 11개의 고감도 지오폰(Geophone) 센서와 8개의 전자기 액추에이터를 탑재했습니다. 이들은 진동을 정밀하게 측정하고 상쇄하기 위해 정교하게 설계되었으며, 최첨단 임베디드 피드백 및 피드포워드 제어 알고리즘과 결합되어 2Hz 이하에서 엄격한 VC-G 진동 규격을 만족할 수 있게 합니다.
DVIA-MLP1000의 새로운 튜닝 소프트웨어는 필터와 게인을 더욱 다양하게 제공해 저주파 진동 제어 성능을 향상시킵니다. 필터 슬롯이 기존 3개에서 5개로 늘어나 피드백과 피드포워드 튜닝을 한층 정밀하게 수행할 수 있으며, 새롭게 도입된 피드포워드 D 게인과 D 주파수로 10Hz 이하 대역에서 탁월한 안정성을 보장하고 0.5Hz 이하 진동까지 감쇠할 수 있습니다. 또한 이 튜닝 소프트웨어는 0.1Hz부터 오픈 루프 전달함수를 제공해, 저주파대 진동 제어를 위해 정확한 위상 여유(Phase Margin) 확인을 지원합니다.
피드백 제어 시스템은 제진대 상판에서 발생하는 진동을 고성능 센서로 지속적으로 측정하고, 액추에이터를 이용해 동일하나 반대 방향의 힘을 가함으로써 진동을 효과적으로 줄입니다. 기본 설정만으로도 우수한 격리 효과를 발휘하지만, 제어가 필요한 고객 장비에 맞춰 게인을 조정하고 새로운 고급 노치 필터로 구조 공진이나 특정 진동원을 제어함으로써 피드백 오픈 루프를 최적화하면 더욱 향상된 제어 성능을 얻을 수 있습니다.
피드포워드 제어는 실시간으로 바닥 진동 센서 값을 측정해 진동을 감지하고, 바닥 진동이 장비로 전달되기 전에 이를 상쇄할 수 있도록 액추에이터로 신호를 보냅니다. DVIA-MLP1000의 피드포워드 제어는 제진 성능을 획기적으로 개선하며, 동적 제어 방식을 통해 시설 내 진동 수준이 변화하더라도 쉽게 적응합니다. 또한 지속적인 재튜닝이 필요 없어 언제나 월등한 제어 성능을 유지할 수 있습니다.
모든 6자유도에서의 능동형 진동 제어
DVIA 시리즈는 X, Y, Z축의 3가지 병진 운동과 피치(pitch), 롤(roll), 요(yaw)의
3가지 회전 운동을 포함한 총 6자유도에서 진동을 제어합니다.
성능
DVIA-MLP1000은 0.5Hz부터 진동을 제어하기 시작하여, 1Hz에서 80 – 90%의 진동 제어 성능을 제공합니다.
DVIA-MLP1000 (Standard) 3D Modeling
Specifications
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