Unparalleled performance that
outperforms all other systems.
The DVIA-ML series begins to isolate floor vibrations starting at 0.5 Hz,
achieving 90% vibration isolation at 1 Hz.
Active Vibration Isolation in
ALL Six Degrees of Freedom
The DVIA Series controls vibrations in three translational degrees of motions
( X, Y and Z) and three rotational degrees of motions ( pitch, roll and yaw).
공간 제약이 있는 환경에서
SEM, TEM을 위한 저상형 플랫폼
DVIA-ML 시리즈는 이전 모델보다 낮은 플랫폼 높이으로 설계되어, 공간 제약이 있는
환경에서 높이가 높은 전자현미경을 위한 여유 공간을 제공합니다.
정밀한 진동 측정을 위한 고감도 속도 센서 11개 탑재
DVIA-ML 시리즈는 저주파 진동을 효과적으로 감지할 수 있는 고감도 2.55 V/in/s (100.4 V/m/s)의 11개 지오폰 속도 센서를 장착하고 있습니다. 0.7 in/s의 peak to peak 변위에서 12 Hz에서 측정한 왜곡률이 0.15%미만으로 매우 낮아, 센서가 큰 오차 없이 정확한 측정값을 제공합니다. 특히 하중이 20 kn일 때 감쇠 값이 0.67에 이르는 속도 센서는 실제 환경에서 진동을 효과적으로 잡아줍니다.
0.3 Hz까지의 진동 신호를 감지할 수 있는
고도의 센서 증폭기 보드 회로
진동센서의 출력은 저주파에서 gain값을 특별히 높이기 위해 설계된 센서 증폭기 보드 회로를 통해 증폭됩니다.
이 증폭 과정은 작은 저주파 신호를 더 잘 감지하고 활용할 수 있게 합니다. 하드웨어 기반의 이 증폭 외에도 신호를 더욱 개선하기 위해 디지털 필터가 사용됩니다. 이 필터는 저주파에서 gain을 증가시켜, 일반적으로 발생할 수 있느 신호 약화를 보정합니다. 이러한 하드웨어와 소프트웨어의 조정을 통해 진동센서의 출력은 약 0.3 Hz의 진동까지 감지하고 처리하는데 효과적이게 됩니다. 이로 인해서 저주파 진동도 정확하게 포착되어, 저주파 대역인 1 Hz - 5 Hz 에서 액티브 제진 시스템의 최적의 성능을 발휘할 수 있습니다.
고성능 디지털 시그널 프로세스
진동에 대한 반응 시간 0.0005초
DVIA-ML 시리즈는 고성능 부동소수점 디지털 신호 프로세서(DSP)를 장착하여, 빠르고 정밀한 진동 응답을 위해 1800 MFLOPS와 2400 MIPS의 처리능력을 제공합니다. 이 시스템은 16비트 A/D 변환기 19채널과 24비트 D/A 변환기 10채널을 갖추고 있어, 데이터 샘플링을 정확하고 동기화되게 수행합니다. 고급 디지털 신호 처리 기술과 정밀환 변환기의 활용으로, 이 시스템은 진동을 거의 지연 없이 감지하고 대응할 수 있습니다.
최적의 전자현미경 성능을 위해
0.05μT 미만의 자기장 유지
DVIA-ML 시리즈는 0.05μT 미만이라는 극히 낮은 자기장을 유지하도록 설계되어, 매우 민감한 전자현미경에 대한 간섭을 방지하는 데 필수적입니다. 특히 고해상도 전자현미경은 자기장에 극도로 민감하여, 아주 작은 변동도 전자빔을 왜곡하고 이미지 선명도를 저하시킬 수 있습니다. DVIA-ML 시리즈는 이러한 초저 자기장 환경을 구현함으로써 전자현미경이 자기장 간섭 없이 작동할 수 있도록 하여 더욱 정밀하고 정확한 이미징과 측정을 가능하게 합니다. 이는 나노미터 또는 서브나노미터급 해상도가 요구되는 응용 분야에서 특히 중요하며,
아주 미세한 교란조차도 상당한 데이터 정확도 문제를 야기할 수 있기 때문입니다.
새로운 피드백 제어 기술
최적화된 오픈 루프 튜닝
전자현미경이 최적의 성능을 발휘하도록 저희는 0.05μT 미만의 매우 안정적인 자기장 환경을 유지하고 있습니다. 이를 위해 피드백 제어 시스템이 분리된 질량(isolated mass)의 진동을 실시간으로 상시 측정하고, 액추에이터를 통해 같은 크기지만 반대 방향의 힘을 가해 진동을 효과적으로 상쇄합니다. 기본 설정만으로도 우수한 제진 성능을 보이지만, DVIA-M Series는 피드백 opon-loop 조정을 통해 제진 성능을
더욱 정밀하게 개선하고 있습니다. 또한 최신 노치 필터(notch filter)를 도입하여 구조적 공진(structural resonance)이나 외부 진동원에
대한 영향을 최소화여, 최상의 이미지를 얻으실 수 있도록 합니다.
정교한 피드포워드 제어 알고리즘
압도적인 저주파 제진 성능
피드포워드 제어는 실시간으로 바닥 센서로부터 진동 데이터를 수집하고, 제진대위에 설치되어 있는 장비로 진동이 전달되기 전에 액추에이터를 통해 이를 상쇄하도록 신호를 전송합니다. DVIA-ML의 피드포워드 제어는 이러한 방식을 통해 제진 성능을 획기적으로 개선합니다. 또한 동적 제어를 통해 시설 내 진동 수준 변화에 유연하게 대응하므로, 빈번한 재튜닝 없이도 탁월한 성능을 안정적으로 구현할 수 있습니다.
새로운 PID 튜닝 소프트웨어
더 많은 PID 게인과 필터로
시스템 안정성과 제진 성능의 극대화
DVIA-ML1000의 새로운 튜닝 소프트웨어는 진동을 더욱 효율적으로 제어할 수 있도록 이전보다 많은 필터와 게인을 제공합니다. 필터 슬롯 수가 3개에서 5개로 늘어남에 따라, 액티브 제어 시스템을 한층 더 정교하고 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 또한, 새로운 피드포워드 D 게인과
D 주파수(Hz) 기능을 통해 10 Hz 이하 영역에서 액티브 제어 시스템의 안정적인 튜닝이 가능해졌습니다. 특히, 새로운 피드포워드 D 게인 제어를 활용하면 0.5 Hz 이하의 매우 낮은 주파수 대역에서도 진동을 효과적으로 감소시켜 뛰어난 제진 성능을 확보할 수 있습니다. 이와 더불어, 새로운 튜닝 소프트웨어는 0.1 Hz부터 시작하는 개방 루프 전달함수를 제공하여 위상 여유(phase margin)를 정확하게 점검할 수 있어, 극저주파 대역의 제진 성능을 극대화하기 위해 게인 값을 안정적으로 조정할 수 있습니다.
